uPoli-1-300P/uPoli-2-400P 精密研磨抛光机
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UPoli 1 300P uPoli 2 400P图（1） scaled
UPoli 1 300P uPoli 2 400P图（2） scaled
UPoli 1 300P uPoli 2 400P图（3） scaled
视频演示
产品特点与应用
产品特点：
1. 本产品用于精密研磨抛光，去除精度高；
2. 样品采用真空吸附，样品盘可对4英寸（LAP-200U：6英寸）晶圆进行研磨抛光；
3. 样品倾斜角度可调；
4. 样品采用重力加压，加载力连续可调；
5. 样品左右摆动，实现半自动研磨抛光；
6. 摆臂摆动速度均匀且可调；
7. 摆臂摆动范围0-15度可调；
8. 采用独立1KW大功率电机，扭矩大。无论速度快慢，扭矩均大且恒定。
9. 研磨抛光盘转速范围宽，从5转/分钟到100转/分钟；
10. 全触摸屏界面，便于设置研磨抛光参数；
11. 所有研磨抛光参数如转速、研磨抛光时间、旋转方向等自动保存，易于调用；
12. 连接并控制四个不同磨料滴液器的工作站。
技术规格
| 名称说明 | 规格 网格 | |
| 型号 | uPoli-1-300P | uPoli-2-400P |
| 研磨抛光头数量 | 1 | 2 |
| 样品直径 | 3（可选：4英寸），可用于研磨抛光3（可选：4英寸）晶圆 | 5（可选：6英寸），可用于研磨抛光5（可选：6英寸）晶圆 |
| 抛光分辨率 | 1微米 | |
| 样品倾斜角度 | 0-10度可调 | |
| 样品加载力 | 0-4公斤连续可调 | |
| 样品摆动速度 | 可调 | |
| 臂的摆动范围 | 0-15度可调 | |
| 研磨抛光盘直径（毫米） | φ300 | φ400 |
| 研磨抛光盘电机功率 | 1千瓦 | |
| 转速（转/分钟） | 5-100 | |
| 旋转方向 | 逆时针/顺时针可选，自动正反转切换 | |
| 四速手动（转/分钟） | V1=5, V2=15, V3=25, V4=50（用户可自定义速度） | |
| 自动研磨抛光参数 | 64种（参数包括：速度、时间和研磨盘旋转方向） | |
| 研磨抛光参数 | 用户可设置并调用 | |
| 滴液器单元数量 | 4单元 | |
| 滴速 | 1-100毫升/分钟 | |
| 电源 | 电压：AC220V，频率：50HZ | |
| 外形尺寸（毫米） | 760 x 430 x 360（长*宽*高） | |
| 重量 | 30公斤 | |
标准配置
| 序号 | 零件名称 | 数量 | 零件名称 | 数量 |
| 1 | 精密研磨抛光液 | 1瓶 | 真空泵 | 1台 |
| 2 | 精密研磨夹具 | 1套 | 滴管 | 1支 |
| 3 | 洗气瓶（含连接管） | 1套 | 粘性植绒抛光布300mm | 10片 |
| 4 | 粘性砂纸300mm 180# | 10片 | 粘性帆布抛光布300mm | 10片 |
| 5 | 粘性砂纸300mm 320# | 10片 | 金刚石悬浮抛光液 1、3、6微米，200毫升 | 各1瓶 |
| 6 | 粘性砂纸300mm 600# | 10片 | 防粘盘300mm | 1个 |
| 7 | 粘性砂纸300mm 1000# | 10片 | 磁力盘300mm | 1个 |
| 8 | 粘性砂纸300mm 2000# | 10片 | ||
| 9 | 防粘盘撬棒（用于放置和撬起防粘盘） | 1根 | ||
| 技术文件：产品使用说明书、产品合格证及保修卡各一份 | ||||
