iSurfa-310 粗糙度波纹度测量仪
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ISurfa 310图（1）
ISurfa 310图（2）
ISurfa 310图（3）
ISurfa 310图（4）
ISurfa 310图（5）
ISurfa 310图（6） scaled
产品特点与应用
产品特点：
高精度大行程导轨，长度可达50mm。
传感器测量范围：±100μm。
平板作为操作设备，便携且符合人体工学，便于操作。
无线WiFi通信，支持远程操作，使用便捷。
以太网线缆连接通信，可自动与WiFi切换，适用于不便使用无线设备的车间，实现更快的数据传输。
参数全面，包含5种测量类型及多种国家标准。
测针可直接更换，操作简便，适用于不同场景的测量。
传感器可在导轨垂直与同轴位置自由切换，实现侧面深度沟槽测量，不受测针与沟槽深度限制。
支持操作界面及结果参数的公英制单位切换。
支持中英文界面切换。
数据存储便捷，可直接更改存储路径至插入平板的U盘或SD卡。CSV数据格式便于使用，数据存储无上限。
包含多种滤波方法及分析算法，可自由组合以满足需求。
支持标准块自动多次校准，显著降低校准误差。
产品应用：
精密加工：用于检测加工零件的表面粗糙度和波纹度，确保产品质量符合高精度要求。
晶圆表面检测：在半导体制造过程中，测量晶圆表面的粗糙度和波纹度，确保芯片质量及生产效率。
技术规格
| 型号 | iSurfa-310 | |||
| 量程 | X方向 | 50mm | ||
| Z方向 | ±1000μm | |||
| 传感器分辨率 | X方向 | 0.0016μm/±50μm ~ 0.016μm/±500μm | ||
| 驱动器 | 直线度 | 1μm/50mm | ||
| 分析 算法 | 对应标准 | JIS-82, JIS-87, JIS-94, JIS-01, JIS-13, ISO-84, ISO-97, DIN-90, ASME-95, GB-14 | ||
| 参数 | 粗糙度轮廓 | Ra75, Rq, Rp, Rv, Rc, Rt, S, R3z, PPI, Ra, Rsk, Rku, Ry, Sm, RΔa, RΔq, Rz, Pc, Rλa, Rλq, lr, RSm, Rz94, RPc, RS, Rz.I, Rpm, HSC | ||
| 波纹度轮廓 | WCA, WCC-q, WCC-p, WCC-v, WCC-m, WCC-Sm, WCA, WC-q, WC-p, WC-v, WCM, WC-Sm, WC-t, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, WSm, WΔq, WPc | |||
| 原始轮廓 | Rsk, Rku, Rmax, Sm, Δa, Δq, Rz, λa, λq, lr, TILT A, AVH, Hmax, Hmin, AREA, Rz.J, Pa, Pq, Psk, Pku, Pp, Pv, Pc.I, Pt, PSm, PΔq, PPc, Pc | |||
| 艾伯特曲线 | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, V0, K, A1, A2 | |||
| Motif | NCRX, AR, R, Rx, NR, CPM, SR, SAR, AW, W, Wx, Wte, NW, SW, SAW, Rke, Rpke, Rvke, Mr1, Mr2, V0, K | |||
| 评估曲线 | 粗糙度轮廓、波纹度轮廓、原始轮廓、Abbott曲线、Motif | |||
| 特征曲线 | Abbott曲线(Rmr(c) , Rmr2(c) , Rδc(c) , tp(c), tp2(c), Htp(c)) , 幅频分析曲线, 幅值分布曲线 | |||
| 形状去除 | 全局、前半部分、后半部分、中心、2点、曲线 | |||
| 滤波器类型 | 高斯、FFT、PC、DP、2RC | |||
| 滤波器 波长 | λs | 0 , 2.5 , 8 , 25μm | ||
| λc | 0.08 , 0.25 , 0.8 , 2.5 , 8mm | |||
| λf | 0.8 , 2.5 , 8 , 25m | |||
| 评估长度 | 采样长度 × 采样次数 (采样长度有标准模式和自定义模式) | |||
| 测量速度 | 0.05mm/s , 0.10mm/s , 0.50mm/s , 1.00mm/s , 2.00mm/s | |||
| 返回速度 | 0.05mm/s , 0.10mm/s , 0.50mm/s , 1.00mm/s , 2.00mm/s | |||
| 传感器 | 模式 | 标准通用型 | ||
| 传感器模式 | 差动电感 | |||
| 量程 | ±1000μm | |||
| 测针 | 5μmR 金刚石 90° | |||
| 测针接触力 | 可调节范围 0.4 至 0.75mN | |||
| 操作器 | 显示部分 | 10英寸彩色IPS触摸屏 | ||
| 数据输出 | TF卡/U盘/WIFI打印 | |||
| 对应语言 | 中文/英文 | |||
| 尺寸与重量 | 电源 | AC220V±10% 内置可充电电池（通过交流变压器充电） 充电时间：8小时 | ||
| 功耗 | 约30VA（充满电后可进行800次测量） | |||
| 质量 | 净重 4Kg 毛重 8Kg | |||
| 尺寸 | 执行器 80 (宽) ×392 (长) × 180 (高) 操作器 245 (宽) × 162 (深) ×68 (高) | |||
标准配置
| 名称 | 数量 | 图片 |
| 主机执行器 | 1台 |  |
| 传感器 | 1个 |  |
| 10英寸平板操作器 | 1台 |  |
| 主机充电器 | 1个 | / |
| 平板充电器 | 1个 | / |
| 标准触控笔 | 1支 |  |
| 粗糙度标准测试块 | 1块 |  |
| 数据通信线 | 1根 | / |
| 主机防水箱 | 1个 | / |
随机工具
可选配置
| 名称 | 图片 |
| X-Y轴测试台 |  |
| 夹具 |  |
| V形测试台 |  |
| 测针 |  |
| 测量平台 |  |
