iSurfa-310 粗糙度波纹度测量仪

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ISurfa 310图（1）

ISurfa 310图（2）

ISurfa 310图（3）

ISurfa 310图（4）

ISurfa 310图（5）

ISurfa 310图（6） scaled

产品特点与应用

产品特点：

高精度大行程导轨，长度达50mm
传感器量程±100μm
Pad做操作机，携带方便且操作舒适
无线WiFi通信，远距离操作，使用方便
网线连接通信，可与WiFi通信自动切换，在不方便使用无线设备的车间里能实现更快的数据传输
参数全面，包括5种测量类型以及多种国家标准
测针可直接更换，更换操作方便，可实现不同场景下的测量
传感器可与导轨垂直同向随意切换，测深槽就可从侧面进行，无需受限与测针和凹槽的深度
支持操作界面以及结果参数公英制切换
支持界面中英文切换
数据储存方便，可直接更改储存路径到插在Pad上的U盘或SD卡上，CSV数据格式让数据使用更方便，无数据存储上限
包括多种滤波方式的分析算法可随意搭配满足要求
支持自动多次校准标准块，使校准大大减少误差

产品应用：

精密机械加工：用于检测加工零件的表面粗糙度和波纹度，确保产品质量符合高精度要求
晶圆表面检测：在半导体制造过程中，对晶圆表面进行粗糙度和波纹度测量，确保芯片的质量和生产效率和

技术规格

型号	iSurfa-310
量程	X方向			50mm
	Z方向			±1000μm
传感器分辨率	X方向			0.0016μm/±50μm ~ 0.016μm/±500μm
驱动器	直线度			1μm/50mm
分析算法	对应标准			JIS-82, JIS-87, JIS-94, JIS-01, JIS-13, ISO-84, ISO-97, DIN-90, ASME-95, GB-14
	参数	粗糙度轮廓		Ra75, Rq, Rp, Rv, Rc, Rt, S, R3z, PPI, Ra, Rsk, Rku, Ry, Sm, RΔa, RΔq, Rz, Pc, Rλa, Rλq, lr, RSm, Rz94, RPc, RS, Rz.I, Rpm, HSC
		波纹度轮廓		WCA, WCC-q, WCC-p, WCC-v, WCC-m, WCC-Sm, WCA, WC-q, WC-p, WC-v, WCM, WC-Sm, WC-t, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, WSm, WΔq, WPc
		原始轮廓		Rsk, Rku, Rmax, Sm, Δa, Δq, Rz, λa, λq, lr, TILT A, AVH, Hmax, Hmin, AREA, Rz.J, Pa, Pq, Psk, Pku, Pp, Pv, Pc.I, Pt, PSm, PΔq, PPc, Pc
		艾伯特曲线		Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, V0, K, A1, A2
		Motif		NCRX, AR, R, Rx, NR, CPM, SR, SAR, AW, W, Wx, Wte, NW, SW, SAW, Rke, Rpke, Rvke, Mr1, Mr2, V0, K
	评估曲线			粗糙度轮廓、波纹度轮廓、原始轮廓、Abbott曲线、Motif
	特征曲线			Abbott曲线(Rmr(c) , Rmr2(c) , Rδc(c) , tp(c), tp2(c), Htp(c)) , 幅频分析曲线, 幅值分布曲线
	形状去除			全局、前半部分、后半部分、中心、2点、曲线
	滤波器类型			高斯、FFT、PC、DP、2RC
	滤波器波长		λs	0 , 2.5 , 8 , 25μm
			λc	0.08 , 0.25 , 0.8 , 2.5 , 8mm
			λf	0.8 , 2.5 , 8 , 25m
评估长度				采样长度 × 采样次数 (采样长度有标准模式和自定义模式)
测量速度	0.05mm/s , 0.10mm/s , 0.50mm/s , 1.00mm/s , 2.00mm/s
返回速度	0.05mm/s , 0.10mm/s , 0.50mm/s , 1.00mm/s , 2.00mm/s
传感器	模式			标准通用型
	传感器模式			差动电感
	量程			±1000μm
	测针			5μmR 金刚石 90°
	测针接触力			可调节范围 0.4 至 0.75mN
操作器	显示部分			10英寸彩色IPS触摸屏
	数据输出			TF卡/U盘/WIFI打印
	对应语言			中文/英文
尺寸与重量	电源			AC220V±10% 内置可充电电池（通过交流变压器充电）充电时间：8小时
	功耗			约30VA（充满电后可进行800次测量）
	质量			净重 4Kg 毛重 8Kg
	尺寸			执行器 80 (宽) ×392 (长) × 180 (高) 操作器 245 (宽) × 162 (深) ×68 (高)

标准配置

名称	数量	图片
主机执行器	1台
传感器	1个
10英寸平板操作器	1台
主机充电器	1个	/
平板充电器	1个	/
标准触控笔	1支
粗糙度标准测试块	1块
数据通信线	1根	/
主机防水箱	1个	/